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三英精控牽頭承擔的國家重點研發課題順利通過中期檢查

  • 分類:公司新聞
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  • 發布時間:2023-02-16 13:20
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【概要描述】2023年2月13日,三英精控牽頭承擔的國家重點研發計劃課題“大型顯示面板前端制造工藝納米尺度物性在線測量與質量監控系統”,在天津順利通過科學技術部組織的中期檢查??萍疾扛呒夹g中心相關領導及驗收專家組聽取了項目組匯報并觀看了設備現場演示。

三英精控牽頭承擔的國家重點研發課題順利通過中期檢查

【概要描述】2023年2月13日,三英精控牽頭承擔的國家重點研發計劃課題“大型顯示面板前端制造工藝納米尺度物性在線測量與質量監控系統”,在天津順利通過科學技術部組織的中期檢查??萍疾扛呒夹g中心相關領導及驗收專家組聽取了項目組匯報并觀看了設備現場演示。

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2023年2月13日,三英精控牽頭承擔的國家重點研發計劃課題“大型顯示面板前端制造工藝納米尺度物性在線測量與質量監控系統”,在天津順利通過科學技術部組織的中期檢查??萍疾扛呒夹g中心相關領導及驗收專家組聽取了項目組匯報并觀看了設備現場演示。

 

國家重點研發計劃是由原來的國家重點基礎研究發展計劃(973計劃)、國家高技術研究發展計劃(863計劃)、國家科技支撐計劃、產業技術研究科研專項等整合而成,是對事關產業核心競爭力、整體自主創新能力和國家安全的戰略性、基礎性、前瞻性重大科學問題、以及重大共性的關鍵技術和產品,其主要支持填補產業空白,為國民經濟和社會發展提供持續性支撐和引領的項目。

電子顯示屏制造業是代表先進制造水平的典型高端產業。近年新型顯示屏產業規模持續擴大,年增長率超過25%,僅OLED柔性屏的年產值就接近3000億元。對標國際先進良率水平,如何提升測量技術來提高良率是目前顯示制造行業的核心問題。并且當被測面板尺寸(>1.5m)時,將遠超現有納米測量設備的承載范圍,只能在裁剪試樣后進行離線檢測。

三英精控高度重視本次項目,聯合了中國科學院沈陽自動化研究所、天津大學、廣東工業大學等知名高校院所,與深圳明銳儀器有限公司、武漢華星光電半導體顯示技術有限公司等行業標桿企業組成產學研于一體的項目團隊,開展了項目協調、管理與實施工作。

項目研制了具有高端納米測量指標的支持1.5米尺度試樣的大型原子力顯微鏡,XY方向閉環分辨率達到0.2nm,Z方向空間分辨率小于0.1nm。項目針對超大尺寸薄試樣的長機械回路,構建了跨尺度高速高精度運動平臺,采用宏-微-納三級7個自由度的聯動協同精準控制,同時保證了大行程、高精度。

項目打破了技術壁壘,填補了多項國內技術空白。目前已經申請了十多項發明專利技術。項目獲得的相關技術還可用于半導體行業(如點膠、晶圓鍵合)和激光加工等其他領域。

三英精控是一家專注于超精密運動控制技術和產品的開發,并致力于為科學研究儀器及高端裝備制造提供精密運動控制技術的解決方案與系統集成,滿足市場對超精密運動控制技術與產品需求的專業制造商。

更多行業資訊及產品信息,請持續關注三英精控或來電咨詢。

咨詢熱線:18526695114

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三英精控牽頭承擔的國家重點研發課題順利通過中期檢查

【概要描述】2023年2月13日,三英精控牽頭承擔的國家重點研發計劃課題“大型顯示面板前端制造工藝納米尺度物性在線測量與質量監控系統”,在天津順利通過科學技術部組織的中期檢查??萍疾扛呒夹g中心相關領導及驗收專家組聽取了項目組匯報并觀看了設備現場演示。

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國家重點研發計劃是由原來的國家重點基礎研究發展計劃(973計劃)、國家高技術研究發展計劃(863計劃)、國家科技支撐計劃、產業技術研究科研專項等整合而成,是對事關產業核心競爭力、整體自主創新能力和國家安全的戰略性、基礎性、前瞻性重大科學問題、以及重大共性的關鍵技術和產品,其主要支持填補產業空白,為國民經濟和社會發展提供持續性支撐和引領的項目。

電子顯示屏制造業是代表先進制造水平的典型高端產業。近年新型顯示屏產業規模持續擴大,年增長率超過25%,僅OLED柔性屏的年產值就接近3000億元。對標國際先進良率水平,如何提升測量技術來提高良率是目前顯示制造行業的核心問題。并且當被測面板尺寸(>1.5m)時,將遠超現有納米測量設備的承載范圍,只能在裁剪試樣后進行離線檢測。

三英精控高度重視本次項目,聯合了中國科學院沈陽自動化研究所、天津大學、廣東工業大學等知名高校院所,與深圳明銳儀器有限公司、武漢華星光電半導體顯示技術有限公司等行業標桿企業組成產學研于一體的項目團隊,開展了項目協調、管理與實施工作。

項目研制了具有高端納米測量指標的支持1.5米尺度試樣的大型原子力顯微鏡,XY方向閉環分辨率達到0.2nm,Z方向空間分辨率小于0.1nm。項目針對超大尺寸薄試樣的長機械回路,構建了跨尺度高速高精度運動平臺,采用宏-微-納三級7個自由度的聯動協同精準控制,同時保證了大行程、高精度。

項目打破了技術壁壘,填補了多項國內技術空白。目前已經申請了十多項發明專利技術。項目獲得的相關技術還可用于半導體行業(如點膠、晶圓鍵合)和激光加工等其他領域。

三英精控是一家專注于超精密運動控制技術和產品的開發,并致力于為科學研究儀器及高端裝備制造提供精密運動控制技術的解決方案與系統集成,滿足市場對超精密運動控制技術與產品需求的專業制造商。

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